Oxidy kovů mají nezastupitelnou roli v návrhu moderních zařízeních vyzařující a absorbující světlo v roli transparentních vodičů. Klasické řešení využívá SnInO, kde In je drahou komponentou. V této práci se vyšetřují vrstvy tvořené oxidy cínu a zinku jako potenciální náhrady indiových vrstev. Vrstvy jsou naprašovány v magnetronové aparatuře a poté zkoumány různými metodami.
Anotace v angličtině
Metal oxides have irreplaceable role as transparent conductors in design of modern devices emitting and absorbing light. Commercial solution uses SnInO where In is expensive component. Thin films of tin and zinc oxide are studied in this bachelor's thesis as potential replacement of indium films. Films were sputtered on target using magnetron and then examined by various methods.
Oxidy kovů mají nezastupitelnou roli v návrhu moderních zařízeních vyzařující a absorbující světlo v roli transparentních vodičů. Klasické řešení využívá SnInO, kde In je drahou komponentou. V této práci se vyšetřují vrstvy tvořené oxidy cínu a zinku jako potenciální náhrady indiových vrstev. Vrstvy jsou naprašovány v magnetronové aparatuře a poté zkoumány různými metodami.
Anotace v angličtině
Metal oxides have irreplaceable role as transparent conductors in design of modern devices emitting and absorbing light. Commercial solution uses SnInO where In is expensive component. Thin films of tin and zinc oxide are studied in this bachelor's thesis as potential replacement of indium films. Films were sputtered on target using magnetron and then examined by various methods.
1. Seznámit se s problematikou magnetronové depozice kovů a oxidů\\
2. Seznámit se obsluhou s obsluhou depoziční aparatury\\
3. Seznámit se s vybranými technikami charakterizace tenkých vrstev jako jsou SEM,
XPS, XRD, 4bodová metoda, atd.\\
4. Připravit vzorky\\
5. Analyzovat připravené vzorky různými analytickými technikami\\
6. Vyhodnocení naměřených dat a zpracování výsledků\\
Zásady pro vypracování
1. Seznámit se s problematikou magnetronové depozice kovů a oxidů\\
2. Seznámit se obsluhou s obsluhou depoziční aparatury\\
3. Seznámit se s vybranými technikami charakterizace tenkých vrstev jako jsou SEM,
XPS, XRD, 4bodová metoda, atd.\\
4. Připravit vzorky\\
5. Analyzovat připravené vzorky různými analytickými technikami\\
6. Vyhodnocení naměřených dat a zpracování výsledků\\
Seznam doporučené literatury
1. Dokumentace analytických systémů\\
2. Michael A. Lieberman, Alan J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and
Materials Processing, Wiley 2005\\
3. S. Shang ed., Handbook of Nanostructured Thin Films and Coatings, CRC Press,
2010\\
4. Odborné články
Seznam doporučené literatury
1. Dokumentace analytických systémů\\
2. Michael A. Lieberman, Alan J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and
Materials Processing, Wiley 2005\\
3. S. Shang ed., Handbook of Nanostructured Thin Films and Coatings, CRC Press,
2010\\
4. Odborné články