| Název předmětu | Fyzikální metody depozice |
|---|---|
| Kód předmětu | KFY/P223 |
| Organizační forma výuky | Přednáška |
| Úroveň předmětu | Magisterský |
| Rok studia | 2 |
| Semestr | Letní |
| Počet ECTS kreditů | 4 |
| Vyučovací jazyk | Angličtina |
| Statut předmětu | Povinně-volitelný |
| Způsob výuky | Kontaktní |
| Studijní praxe | Nejedná se o pracovní stáž |
| Doporučené volitelné součásti programu | Není |
| Vyučující |
|---|
|
| Obsah předmětu |
|
nespecifikováno
|
| Studijní aktivity a metody výuky |
| nespecifikováno |
| Výstupy z učení |
|
Cílem kurzu je poskytnout studentům základní orientaci v povrchových technologiích, pochopit vazbu mezi složením a vlastnostmi povlaku i ve vztahu k technologii depozice. Přednáška se zaměří na tato témata: Růst tenkých vrstev, vliv parametrů procesu. Napařování : princip a realizace. Doutnavý obloukový výboj : základní vlastnosti, interakce plazmatu s elektrodami, katodová sktvrna. Naprašování: princip metody, magnetrony. DC, pulzní a rf naprašování. Speciální metody : laserová ablace, IBAD, depozice ionizovaných klastrů. Anodická oxidace, vrstvy Langmuira-Blodgettové. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD. Metody měření depoziční rychlosti, měření parametrů plazmatu. Příprava substrátů: chemické ošetření, žíhání, iontové leptání.
|
| Předpoklady |
|
Výuka v angličtině je určena pro erasmové a zahraniční studenty. Výuka v případě malého počtu studentů probíhá formou individuálních konzultací.
|
| Hodnoticí metody a kritéria |
|
nespecifikováno
|
| Doporučená literatura |
|
| Studijní plány, ve kterých se předmět nachází |
| Fakulta | Studijní plán (Verze) | Kategorie studijního oboru/specializace | Doporučený semestr | |
|---|---|---|---|---|
| Fakulta: Přírodovědecká fakulta | Studijní plán (Verze): Aplikované nanotechnologie (A12) | Kategorie: Speciální a interdisciplinární obory | 2 | Doporučený ročník:2, Doporučený semestr: Letní |