|
Vyučující
|
-
Pavlík Jaroslav, doc. RNDr. CSc.
|
|
Obsah předmětu
|
1. týden: Význam vakuové fyziky ve vědě a technice. Kinetická teorie plynů: tlak plynu, střední střední volná dráha molekul, obory tlaků ve vakuové technice. 2. týden: Difúze, tepelná transpirace, přenos energie. Proudění plynů : proud plynu, vakuová vodivost, vodivost otvoru, potrubí. Proudění plynu netěsnostmi. 3. týden: Povrchové procesy: vazby molekul a atomů, fyzikální a chemická sorpce a desorpce, adsorpční izotermy. 4. týden: Tlak nasycených par, odpařování. Materiály pro vakuovou techniku. 5. týden: Metody získávání nízkých tlaků : čerpací rychlost, časový průběh čerpacího procesu, mezní tlak, zbytková atmosféra, rozdělení tlaku v systému při čerpání. Zásady návrhu vakuových systémů. 6. týden: Vývěvy s pracovní komorou: pístové, s valivým pístem, olejové a suché rotační vývěvy, šroubové vývěvy. 7. týden: Vývěvy s přenosem impulsu : Rootsovy vývěvy, molekulární a turbomolekulární vývěvy. 8. týden: Vývěvy s proudem pracovní tekutiny: vodní vývěva, difúzní vývěvy.Vývěvy s vazbou molekul : kryosorpční, zeolitové, sublimační vývěvy. 9. týden: Měření nízkých tlaků : membránové a kompresní vakuoměry, tepelné vakuoměry, ionizační vakuoměry. 10. týden: Měření parciálních tlaků, hledání netěsností vakuových soustav. 11. týden: Stavební prvky vakuových soustav, spoje, příruby, těsnění, přenos pohybu do vakua. 12. týden: Zásady práce s vakuovými systémy, vakuová hygiena
|
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
|
nespecifikováno
|
|
Výstupy z učení
|
Cílem kurzu je získání znalostí potřebných pro porozumění procesům v moderních a perspektivních vakuových systémech se zvláštním ohledem na aplikace v oboru nanotechnologií. Význam vakuové fyziky ve vědě a technice. Vybrané kapitoly z kinetické teorie plynů, režimy proudění plynů, vakuová vodivost, proudění plynu netěsnostmi. Povrchové procesy: vazby molekul a atomů, fyzikální a chemická sorpce a desorpce, adsorpční izotermy. Tlak nasycených par, odpařování. Materiály pro vakuovou techniku. Metody získávání nízkých tlaků : čerpací rychlost, časový průběh čerpacího procesu, mezní tlak, zbytková atmosféra. Vývěvy s pracovní komorou: pístové, s valivým pístem, olejové a suché rotační vývěvy, šroubové vývěvy. Vývěvy s přenosem impulsu : Rootsovy vývěvy, molekulární a turbomolekulární vývěvy. Vývěvy s proudem pracovní tekutiny: vodní vývěva, difúzní vývěvy. Vývěvy s vazbou molekul : kryosorpční, zeolitové, sublimační vývěvy. Měření nízkých tlaků : membránové a kompresní vakuoměry, tepelné vakuoměry, ionizační vakuoměry. Měření parciálních tlaků, hledání netěsností vakuových soustav. Stavební prvky vakuových soustav, spoje, příruby, těsnění, přenos pohybu do vakua. Zásady práce s vakuovými systémy, vakuová hygiena.
|
|
Předpoklady
|
nespecifikováno
|
|
Hodnoticí metody a kritéria
|
nespecifikováno
|
|
Doporučená literatura
|
-
Boušek J. Vakuová technika.
-
Dúbravcová V. Vakuová a ultravakuová technika .
-
Fikes L. Fyzika nízkých tlaků .
-
Groszkowski J. Technika vysokého vakua. Praha, 1981.
-
Lafferty J.M. Foundations of vacuum science and technology. New York, 1998.
-
Pátý L. Vakuová technika .
-
Pátý L. Fyzika nízkých tlaků. Praha, 1968.
|