| Název předmětu | Fyzikální metody depozice |
|---|---|
| Kód předmětu | KFY/FMD |
| Organizační forma výuky | Přednáška |
| Úroveň předmětu | Bakalářský |
| Rok studia | 2 |
| Semestr | Zimní |
| Počet ECTS kreditů | 4 |
| Vyučovací jazyk | Angličtina |
| Statut předmětu | Povinný |
| Způsob výuky | Kontaktní |
| Studijní praxe | Nejedná se o pracovní stáž |
| Doporučené volitelné součásti programu | Není |
| Vyučující |
|---|
|
| Obsah předmětu |
|
1. Vymezení pojmu tenkých vrstev (TV), příklady aplikací TV, přehled depozičních metod 2. Růst tenkých vrstev, procesy na povrchu, modely růstu 3. Vakuové napařování 4. Základní pojmy fyziky plazmatu, interakce částic, energie x teplota částic, vznik a udržení výbojů v plynech 5. Doutnavý výboj, interakce plazmatu se stěnami, DC, RF výboj 6. Diagnostika plazmatu stručně, Langmuirova sonda, OES, QMS, další druhy výbojů (MW, obloukový výboj) 7. Naprašování, princip metody, DC, RF naprašování, magnetrony, reaktivní naprašování, pulzní naprašování 8. Další depoziční techniky, laserová ablace, ablace elektronovým svazkem, IBD, depozice ionizovaných klastrů, anodická oxidace, vrstvy Langmuir-Blodgettové 9. Chemické a fyzikálně chemické metody depozice, CVD, CVD s přídavnou aktivací par (MPCVD, PECVD, RPECVD), plazmová polymerace 10. Metody měření depoziční rychlosti, měření parametrů plazmatu, QCM, elipsometrie, tvorba masky, AFM, mechanické profilometry, CWL, měření tlouštěk u specifických aplikací 11. Měření parametrů plazmatu, OES, Langmuirova sonda, QMS, SEERS, plazma monitor 12. Příprava substrátů, čištění, mechanické a chemické ošetření povrchů, žíhání, iontové leptání 13. Litografie, maskování, vytváření nanostruktur
|
| Studijní aktivity a metody výuky |
| nespecifikováno |
| Výstupy z učení |
|
Cílem kurzu je poskytnout studentům základní orientaci v povrchových technologiích, pochopit vazbu mezi složením a vlastnostmi povlaku i ve vztahu k technologii depozice.
|
| Předpoklady |
|
Výuka v angličtině je určena pro erasmové a zahraniční studenty. Výuka v případě malého počtu studentů probíhá formou individuálních konzultací.
|
| Hodnoticí metody a kritéria |
|
nespecifikováno
Znalosti studentů jsou ověřovány písemnou a ústní formou. Pro udělení zápočtu je třeba úspěšně absolvovat zápočtovou písemnou práci. Pro úspěšné absolvování celého předmětu je třeba vykonat ústní zkoušku. |
| Doporučená literatura |
|
| Studijní plány, ve kterých se předmět nachází |
| Fakulta | Studijní plán (Verze) | Kategorie studijního oboru/specializace | Doporučený semestr |
|---|