|
Vyučující
|
-
Kormunda Martin, doc. Ing. Ph.D.
|
|
Obsah předmětu
|
Převážná část metody bude také prakticky použita v rámci praktika. V první řadě se studenti zaměří základy těchto metod: 1. Langmuirova sonda, včetně úlohy v praktiku 2. Optická emisní spektroskopie, včetně úlohy v praktiku 3. Iontová hmotnostní spektrometrie, včetně úlohy v praktiku 4. Optická měření pomocí laserů (Laser-induced fluorescence, atd) 5. Nepřímé metody sledování dějů v plazmatu ? proud na, napětí na magnetron, 6. Nepřímé metody zejména pro polovodičový průmysl (Self Excited Electron Plasma Resonance Spectroscopy, atd.) 7. Další metody použitelné pro sledování dějů v plazmatu a na exponovaných površích ? elipsometrie, křemenné krystaly, atd.
|
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
|
nespecifikováno
|
|
Výstupy z učení
|
Přednáška navazuje na kurzy fyziky plazmatu. Studenti se v tomto kurzu budou zabývat detailně metodami charakterizace plazmatu a k tomu příbuznými tématy. Jednotlivé metody budou stručně charakterizovány včetně vlastností, použitelnosti, omezení atd. V pochopitelně v různých druzích výbojů se zaměřením na nízkotlaké plazmové technologie (magnetronové metody, plazmo- polymerační postupy). Cílem je uvedení studentů do problematiky v rozsahu potřebném pro další samostatnou práci.
|
|
Předpoklady
|
nespecifikováno
|
|
Hodnoticí metody a kritéria
|
nespecifikováno
Protokol z praktického měření na vybrané problematice je podmínkou získání zápočtu, zkouška bude provedena ústním zkoušením (2 náhodně vylosované otázky)
|
|
Doporučená literatura
|
-
Příručky a aplikační listy výrobců experimentálních zařízení pro jednotlivé metody.
-
M. A. Lieberman, A. J. Lichtenberg. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing DOI:10.1002/0471724254, 2005 John Wiley & Sons, Inc..
|