|
Vyučující
|
-
Kormunda Martin, doc. Ing. Ph.D.
|
|
Obsah předmětu
|
nespecifikováno
|
|
Studijní aktivity a metody výuky
|
|
nespecifikováno
|
|
Výstupy z učení
|
Cílem kurzu je na základě předchozích znalostí z fyziky vakua, plazmatu, tenkých vrstev a povrchů syntetizovat prakticky použitelné modely plazmových technologií včetně potenciální aplikací. Plazmové metody budou logicky rozděleny a popsány podle pracovního tlaku a postupně diskutovány jejich vlastnosti, kontrukční řešení a možné aplikace. Základem přednášek budou klasické metody vakuového napařování, iontového rozprašováním, magnetronového rozprašování (DC, RF, HIPIMs), obloukové výboje, plazmové trysky, atmosférické plazmové procesy a další. Další přednášky se zaměří na detailní popis různých metod získávání iontů a jejich možné aplikace do plazmových procesů, kapacitně vázaný výboj, induktivně vázaný výboj, mikrovlnná ionizace, ionizace světlem, DBD, atd. Závěrečná část přednášky bude zaměřena na možnosti diagnostiky plazmatu (LP, spektroskopie, SEERS, atd.) pro výzkum a kontrolu plazmových procesů.
|
|
Předpoklady
|
nespecifikováno
|
|
Hodnoticí metody a kritéria
|
nespecifikováno
Zkouška bude provedena ústním zkoušením (2 náhodně vylosované otázky).
|
|
Doporučená literatura
|
-
J. E. Greene. Review Article: Tracing the recorded history of thin-film sputter deposition: From the 1800s to.
-
J. E. Greene. Tracing the 5000-year recorded history of inorganic thin films from 3000 BC to the early.
-
Lise-Marie Lacroix, M. Lejeune, L. Ceriotti, M. Kormunda, T. Meziani, P. Colpo, F. Ross. Tuneable rough surfaces: A new approach for elaboration of superhydrophobic films, Surface.
-
Th. von Woedtke, S. Reuter, K. Masura, K.-D. Weltmann. Plasmas for medicine, Physics Reports 530 (2013) 291-320, http://dx.doi.org/10.1016/j.physrep.2013.05.005.
-
Vladimir Kouznetsov, Karol Macak, Jochen M. Schneider, Ulf Helmersson, Ivan Petrov. A novel pulsed magnetron sputter technique utilizing very high target power densities , Surface and Coatings Technology 1 (1999) 290-293.
|