Přednáška je zaměřena aplikace základních fyzikálních pojmů z BC studia do způsoby přípravy a charakterizace nových progresivních a funkčních povrchových materiálů metodami iontového opracování povrchů FIB. Modifikace, mikrostrukturování povrchů pro aplikace v nejrůznějších odvětvích. V první části se přednáška zaměřuje na základy metod využívajících primárně nabité částice - ionty s energiemi do 30 keV, využívané v metodách studia složení povrchů metodami SIMS (statický i dynamický). Detailně jsou diskutovány konstrukce a vlastnosti, omezení a výhody jednotlivých přístupů, včetně typických konstrukčních řešení přístrojů SIMS pro pochopení rozdílů mezi přístroji a metodami. Pak jsou dále diskutovány další možnosti využívání iontových svazků v závislosti na použitých iontech, případně velikosti klasterů.
|
-
J. Goldstein, D. Newbury, D. Joy, Ch. Lyman, P. Echlin, E. Lifshin, L. Sawyer, and J. Michael. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis.
-
L. A. Giannuzzi, F. A. Stevie. Introduction to Focused Ion Beams: Instrumentation, Theory, Techniques and Practice.
|