1. Plazma - charakteristika plazmatu, izotermické a neizotermické plazma, kvazineutralita. Veličiny charakterizující plazma: teplota elektronů, teplota iontů, potenciál plazmatu, koncentrace nabityých částic. Kolektivní působení, Debyeova délka, interakce plazma - stěna, tvorba vrstvy (sheath). Transportní procesy: difuze, ambipolarní difuze. 2. Princip plazmových procesů - plazmochemické reakce, srážkový průřez, pružné a nepružné srážky, typ srážek: ionizace, exitace, deexcitace, srážky tří částic, rekombinace, Penningovská ionizace, disociace, záchyt elektronu a vznik negativních iontů. Metastabilní částice, reakce za přítomnosti metastabilních částic. 3. kategorizace výbojů v plynech - nesamostatný výboj, doutnavý výboj, obloukový výboj, vysokofrekveční výboj (kapacitně vázaný, induktivní výboj, přizpůsobení, přenos energie do výboje, vznik self-bias, plazmový potenciál RF výboje), mikrovlnný výboj Typy plazmových procesů (rozdělení, základy PVD a CVD procesů), plazmové reaktory, reaktory pracující při atmosférickém tlaku (plazmový nástřik), vznosové reaktory, plazmové leptání a plazmové čištění povrchů, plazmová modifikace povrchů (plazmová nitridace, plazmová oxidace), změna povrchové energie polymerních povrchů, úpravy smáčivosti, úpravy chemického složení povrchu, navázání funkčních skupin, plazmové naprašování, plazmová polymerizace.
|
-
H. Biederman, Y. Osada. Plasma Polymerization Processes, Elsevier, Amsterodam - London - New York - Tokyo. 1992.
-
Chen F. F. Úvod do fyziky plazmatu, Academia, Praha. 1984.
-
Kracík, J., Tobiáš, J. Fyzika plazmatu. Academia Praha. 1966.
-
R. D'Agostino. Plasma Deposition, Treatment and Etchin of Polymers. Academic Press 1990.
-
Ricard A. Reactive Plasmas, Vide science, technigue et applications, Volume 52, No. 280, 1996.
-
W. Lochte-Holtgreven. Plasma Diagnostics, American Institute of Physics, New York, 1995.
|