Předmět: Vakuová fyzika a technika

» Seznam fakult » PRF » KFY
Název předmětu Vakuová fyzika a technika
Kód předmětu KFY/M106
Organizační forma výuky Přednáška
Úroveň předmětu Magisterský
Rok studia nespecifikován
Semestr Zimní
Počet ECTS kreditů 3
Vyučovací jazyk Čeština
Statut předmětu Povinně-volitelný
Způsob výuky Kontaktní
Studijní praxe Nejedná se o pracovní stáž
Doporučené volitelné součásti programu Není
Vyučující
  • Jagerová Adéla, RNDr. Ph.D.
  • Pavlík Jaroslav, doc. RNDr. CSc.
Obsah předmětu
1. Význam vakuové fyziky ve vědě a technice. 2. Vybrané kapitoly z kinetické teorie plynů, režimy proudění plynů, vakuová vodivost, proudění plynu netěsnostmi. 3. Povrchové procesy: vazby molekul a atomů, fyzikální a chemická sorpce a desorpce, adsorpční izotermy. 4. Tlak nasycených par, odpařování. 5. Materiály pro vakuovou techniku. 6. Metody získávání nízkých tlaků: čerpací rychlost, časový průběh čerpacího procesu, mezní tlak, zbytková atmosféra. 7. Vývěvy s pracovní komorou: pístové, s valivým pístem, olejové a suché rotační vývěvy, šroubové vývěvy. 8. Vývěvy s přenosem impulsu: Rootsovy vývěvy, molekulární a turbomolekulární vývěvy. 9. Vývěvy s proudem pracovní tekutiny: vodní vývěva, difúzní vývěvy. 10. Vývěvy s vazbou molekul: kryosorpční, zeolitové, sublimační vývěvy. 11. Měření nízkých tlaků: membránové a kompresní vakuoměry, tepelné vakuoměry, ionizační vakuoměry. 12. Měření parciálních tlaků, hledání netěsností vakuových soustav. 13. Stavební prvky vakuových soustav, spoje, příruby, těsnění, přenos pohybu do vakua. Zásady práce s vakuovými systémy, vakuová hygiena.

Studijní aktivity a metody výuky
nespecifikováno
Výstupy z učení
Cílem kurzu je získání znalostí potřebných pro porozumění procesům v moderních a perspektivních vakuových systémech se zvláštním ohledem na aplikace v oboru nanotechnologií.

Předpoklady
nespecifikováno

Hodnoticí metody a kritéria
Ústní zkouška

Doporučená literatura
  • Boušek J. Vakuová technika.
  • Dúbravcová V. Vakuová a ultravakuová technika .
  • Fikes L. Fyzika nízkých tlaků .
  • Groszkowski J. Technika vysokého vakua. Praha, 1981.
  • Lafferty J.M. Foundations of vacuum science and technology. New York, 1998.
  • Pátý L. Vakuová technika .
  • Pátý L. Fyzika nízkých tlaků. Praha, 1968.


Studijní plány, ve kterých se předmět nachází
Fakulta Studijní plán (Verze) Kategorie studijního oboru/specializace Doporučený ročník Doporučený semestr